Weltweit erstmalig werden in einer Präzisionsoptikanlage zylindrische Sputterkathoden eingesetzt, mit denen im Gegensatz zu ihren planaren Pendants eine deutlich verbesserte Schichtdickenverteilung auch über mehrere Wochen Betriebsdauer gewährleistet werden kann.
Zur weiteren Verminderung von Partikelkontaminationen wurde die gesamte Anlage als » sputter-up « -System ausgelegt.
Die Beschichtung erfolgt in diesem Fall von unten nach oben, so dass schwerere Partikel nicht auf den Substraten kondensieren können.
www.ist.fraunhofer.deIn contrast to their planar equivalents a considerably improved coating thickness distribution can be guaranteed even over several weeks of operation.
To further reduce particle contamination the entire installation has been designed as a » sputter-up « system.
In this case coating takes place from below upwards, thereby preventing heavier particles from being able to condense on the substrates.
www.ist.fraunhofer.deLB 4001
Laboranlage für Magnetron-Sputter-Systeme bis 3750 mm
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP Winterbergstraße 28 01277 Dresden, Deutschland www.fep.fraunhofer.de
www.fep.fraunhofer.deLB 4001
Laboratory device for magnetron-sputter-systems up to 3750 mm
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP Winterbergstraße 28 01277 Dresden, Germany www.fep.fraunhofer.de
www.fep.fraunhofer.deFraunhofer-Gesellschaft :
Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung IFAM - Sputter-Targets Online im Internet;
www.ifam.fraunhofer.deFraunhofer-Gesellschaft :
Fraunhofer Institute for Manufacturing Technology and Advanced Materials IFAM - Sputter Targets Online in the Web ;
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